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검토 필요📝 실시간 심사 메모 & AI 추천 질문
❓ AI 생성 심사 질문 리스트
기본 질문 (Basic Questions)1Lithography 공정의 작업표준서(WI)는 최신 개정본으로 관리되고 있습니까?
2해당 공정의 운용 기준(Process Parameter)은 어떻게 설정되었으며, 근거는 무엇입니까?
3공정 변경 시 변경 관리 절차에 따라 사전 승인이 이루어지고 있습니까?
심화 질문 (Deep-Dive Questions)4Critical Dimension (CD) 측정 데이터의 SPC 관리도에서 최근 3개월간 Out-of-Control 발생 건은?
5Overlay Accuracy 관리 기준 설정의 통계적 근거(Cpk 값)를 설명해 주십시오.