안녕하세요! AI Audit Copilot입니다.

ISO 심사에 관한 모든 질문에 답변해 드립니다. 아래와 같은 요청을 할 수 있습니다:

• 심사 질문 생성 (규격/조항/공정/산업별)
• 부적합 판정 및 NC Statement 작성
• 프로세스 분석 (SIPOC, Turtle Diagram)
• 리스크 평가 (FMEA, RPN 계산)
• 원인 분석 (5 Why, Fishbone, FTA)
• 규격 해설 및 심사 포인트 안내

📋 ISO 9001:2015 §8.5.1 — 생산 및 서비스 제공의 관리

Lithography 공정 기준 심사 질문입니다:

기본 질문 (Basic)

1. Lithography 공정의 작업표준서(WI)는 최신 개정본으로 현장에 비치되어 있습니까?
2. Exposure Energy, Focus Offset 등 공정 파라미터의 관리 기준은 설정되어 있습니까?
3. Reticle/Mask의 보관, 취급, 검사 절차는 수립되어 있습니까?

심화 질문 (Deep-Dive)

4. Critical Dimension (CD) 측정 데이터에 대한 SPC 관리도의 관리 상한/하한 설정 근거는?
5. Photo Resist 도포 두께의 Cpk 값은 어떻게 관리되고 있습니까?

추적 질문 (Follow-up)

6. 최근 6개월간 Lithography 관련 부적합 발생 현황과 시정조치 결과는?
7. 장비 예방보전(PM) 주기는 적절하며, PM 이력은 관리되고 있습니까?